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2025年07月24日
真空技術常識：普及真空領域的專業術語解析
一、真空的定義
真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態。真空環境在物理學和工程學中，指氣壓顯著低于標準大氣壓（101,325 Pa）的空間區域，其核心特征是物質粒子（如氣體分子）密度極低，但需結合具體學科背景理解其內涵。
真空等級按氣壓劃分，氣體成分與潔凈度是關鍵附加要求：
| 等級 | 氣壓范圍 | 分子密度 (個/m3) | 典型應用場景 |
|---|---|---|---|
| 粗真空 | 10?–103 Pa | >1023 | 真空吸盤、包裝 |
| 中真空 | 103–10?1 Pa | 1023–101? | 真空熔煉、冷凍干燥 |
| 高真空 (HV) | 10?1–10?? Pa | 101?–101? | 電子束焊接、粒子加速器 |
| 超高真空 (UHV) | <10?? Pa | <101? | 表面科學實驗、量子芯片制造 |
潔凈真空要求：
控制特定污染物（如水汽 <10?1? Pa，碳氫化合物 <10?11 Pa）
采用無油泵組（渦輪分子泵+離子泵）和烘烤除氣技術
二、真空度
處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
三、真空度單位
通常用托(Torr)為單位，近年國際上取用帕(Pa)作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
四、托與帕的轉換
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
五、平均自由程
作無規則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。
六、流量
單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
七、流導
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s)，在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。
U=Q/(P2- P1)
八、壓力或壓強
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。
九、標準大氣壓
壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：(Atm)。
十、極限真空
真空容器經充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
十一、抽氣速率
在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)
十二、熱偶真空計
利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
十三、電離真空計(又收熱陰極電離計)
由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
十四、復合真空計
由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。
十五、冷陰極電離計
陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內形成潘寧放電產生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。
十六、電阻真空計
利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。
十七、麥克勞真空計(壓縮式真空計)
將待測的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。
十八、B-A規
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規。收集極是一根細絲，放在柵網中心，燈絲放在柵網外面，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。
十九、水環真空泵
泵的葉輪轉子旋轉而產生水環。由于轉子偏心旋轉而使水環與葉片間容積發生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。
二十、往復真空泵
利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空泵。
二十一、油封機械真空泵
用油來保持密封的機械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。
二十二、羅茨真空泵
具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環等可直排大氣的真空泵。
二十三、渦輪分子真空泵
有一高速旋轉的葉輪，當氣體分子與高速旋轉的渦輪葉片相碰撞時就被驅向出氣口再由前級泵抽除。
二十四、油擴散真空泵
擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴散，并被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓縮后再由前級泵排除。
二十五、低溫真空泵
利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。
二十六、冷阱(水冷擋板)
置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
二十七、氣鎮閥
油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調節閥，當打開閥并調節入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮閥。
二十八、真空冷凍干燥
真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。
二十九、真空蒸鍍
在真空環境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。
三十、真空干燥
利用真空環境下沸點低的特點來干燥物品的方法。
三十一、真空系統常用名稱
(1)主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。
(4)維持泵：在真空系統中，氣量很小時，不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。
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